Содержание
Аннотация
Проанализированы схемотехнические решения построения систем прямого и косвенного контроля создаваемых светофильтров и предложено принципиально новое решение системы контроля, обеспечивающее высокие эксплуатационные характеристики этих изделий. Предложен оригинальный подход к созданию и реализации современной широкополосной системы по методу прямого оптического контроля толщины наносимых оптических покрытий. Проведена апробация разработанной системы контроля, результатами которой (выходными характеристиками) являются спектральные зависимости коэффициента пропускания. Проведён анализ таких зависимостей для интерференционных светофильтров, полученных с использованием разных систем оптического контроля. Сделаны прогнозы по дальнейшей модернизации системы прямого широкополосного оптического контроля толщины напыляемых покрытий.
Список использованной литературы
1. Lequime M., Nadji S., Stojcevski D., Koc C., Grézes-Besset C., Lumeau J. Determination of the optical constants of a dielectric layer by processing in situ spectral transmittance measurements along the time dimension // Appl. Opt. – 2017. – Vol. 56. – P. C181–C187.
2. Окатов М.А., Антонов Э.А., Байгожин А. Справочник технолога-оптика. – СПб.: Политехника, 2004. – 679 с.
3. Nadji S.L., Lequime M., Begou T., Koc C., Grézes-Besset C., Lumeau J. Use of a broadband monitoring system for the determination of the optical constants of a dielectric bilayer // Appl. Opt. – 2018. – Vol. 57. – P. 877–883.
4. Zhupanov V.G., Kozlov I.V., Fedoseev V.N., Konotopov P., Trubetskov M.K., Tikhonravov A.V. Production of Brewster angle thin film polarizers using a ZrO2/SiO2 pair of materials // Appl. Opt. – 2017. – Vol. 56. – P. C30–C34.
5. URL: https://www.optilayer.com/ (дата обращения: 20.01.2020).
Ключевые слова
- интерференционные светофильтры
- оптический прямой широкополосный контроль
- толщина покрытий
- вакуумная установка
- спектр
- спектральная зависимость коэффициента пропускания (отражения)
Рекомендуемые статьи