Современный контроль толщины оптических покрытий

При изготовлении оборудования для конструкционной и приборной оптики невозможно обойтись без специальных покрытий на поверхности оптических элементов. Помимо покрытий защищающих поверхности для их устойчивости к влиянию внешних факторов, появились покрытия улучшающие оптические свойства, такие как просветление или придаются принципиально новые оптические свойства, например, поляризация, фильтрация излучения.

В статье «Современная система прямого оптического широкополосного контроля толщины напыляемых оптических покрытий» авторов Олега Просовского и Александра Буднева из лаборатории оптических покрытий АО «ОНПП «Технология» им. А.Г. Ромашина» и Дмитрия Денисова, Николая Барышникова и Юрия Просовского из ФГБОУ ВО «МГТУ им. Н.Э.Баумана (НИУ)» рассматривается один из самых ответственных элементов напылительного оборудования – система контроля толщины наносимых плёнок при нанесении многослойных интерференционных структур.

Современное напылительное оборудование базируется на методах прямого и косвенного контроля, вследствие чего точность измерения толщины плёнок наносимых оптических покрытий не всегда удовлетворяет требованиям заказчика.

В работе проанализированы схемотехнические решения построения систем прямого и косвенного контроля создаваемых светофильтров и предложены принципиально новое решение системы контроля, обеспечивающее высокие эксплуатационные характеристики этих изделий и оригинальный подход к созданию и реализации современной широкополосной системы по методу прямого оптического контроля толщины наносимых оптических покрытий.

Работа в описанной в статье системы прямого оптического контроля подразумевает проведение трёх циклов измерения на каждом обороте подложкодержателя для получения высокоточных измерений.

Применение математического аппарата для обработки информации о наносимых покрытий позволяет проводить реанализ напыляемого покрытия и нивелировать ошибки, возникшие при напылении предыдущих слоёв, что обеспечивает обратную связь с процессом напыления и может вносить коррективы в параметры процесса напыления и тем самым повышать качество напыляемых покрытий.

Возврат к списку